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Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Subject 박막

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1
(A) study on the atomic layer deposition of Ti-Al-N thin films using plasmas = 플라즈마를 이용한 Ti-Al-N 박막의 원자층 증착법에 관한 연구link

Lee, Yong-Ju; 이용주; et al, 한국과학기술원, 2003

2
(A) study on the growth kinetic modeling for atomic layer deposition of multi-component thin films = 다성분계 박막의 ALD를 위한 박막성장의 동역학적 modeling에 관한 연구link

Kim, Jin-Hyock; 김진혁; et al, 한국과학기술원, 2005

3
ALD-TiN을 이용한 MOCVD Al박막의 표면 거칠기 개선에 관한 연구 = A study on the surface morphology improvement of MOCVD Al film using ALD-TiNlink

이현배; Lee, Hyun-Bae; et al, 한국과학기술원, 1999

4
ALD와 PEALD를 이용한 $Al_2O_3$ 박막 증착에 관한 연구 = A study on the $Al_2O_3$ thin film deposition by ALD and PEALDlink

전우석; Jeon, Woo-Seok; et al, 한국과학기술원, 2003

5
AlN와 AlN:H 박막 특성에 대한 질소 플라즈마 처리 효과에 관한 연구 = Effects of nitrogen plasma treatment on the characteristics of AlN and AlN:H thin filmlink

조민희; Cho, Min-Hee; et al, 한국과학기술원, 2000

6
Attenuated phase shifting mask용 $CrF_x$ Film의 특성 분석 및 모사 연구 = Characterization and simulation study of $CrF_x$ films for attenuated phase shifting masklink

김은아; Kim, Eun-Ah; et al, 한국과학기술원, 1997

7
Characteristics of fluorinated amorphous carbon thin film deposited using ICP-CVD as a low dielectric interlayer dielectrics = ICP-CVD를 이용하여 증착한 저유전율 층간절연 박막용 불소함유 비정질 박막의 특성link

Han, Sang-Soo; 한상수; et al, 한국과학기술원, 2001

8
$(Co_{0.5}Fe_{0.5})_XAg_{100-X}$ 미세입상 합금박막에서의 열처리와 두께에 따른 거대자기저항 거동 변화 = Effect of annealing and thickness on giant magnetoresistance in $(Co_{0.5}Fe_{0.5})_XAg_{100-X}$ granular thin filmslink

배종성; Bae, Jong-Sung; et al, 한국과학기술원, 1999

9
CsI(Na) 섬광체 박막의 광 발생 특성에 관한 연구 = A study on the characteristics of light output In CsI(Na) scintillating thin filmlink

이경수; Lee, Kyung-Soo; 김도경; 배병수; et al, 한국과학기술원, 1998

10
Cu-In-Ga 전구체 위에 $Ga_2Se_3$ 층을 적용하여 제조된 $Cu(In,Ga)Se_2$ 박막의 Ga 분포 변화 연구 = Ga distribution in $Cu(In,Ga)Se_2$ thin film prepared by selenization of co-sputtered Cu-In-Ga precursor with $Ga_2Se_3$ layerlink

정광선; Jung, Gwang-Sun; et al, 한국과학기술원, 2010

11
DLI-MOCVD법을 이용한 Pb계 강유전체 박막의 저온 증착 = Low temperature metalorganic chemical vapor deposition of Pb-based ferroelectric thin films using direct liquid injection systemslink

변경문; Byun, Kyung-Mun; et al, 한국과학기술원, 2004

12
ECR PE-MOCVD법에 의해 증착된 $PbTiO_3$, PLT 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the characteristics of $PbTiO_3$, PLT thin films deposited by ECR PE-MOCVDlink

정성웅; Chung, Sung-Woong; et al, 한국과학기술원, 1996

13
ECR-PECVD PZT 박막의 FRAM 소자로의 응용에 관한 연구 = The study on the applicaions to FRAM with PZT thin film fabricated by ECR-PECVDlink

정수옥; Chung, Su-Ock; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000

14
FRAM 소자 응용을 위한 ECR PECVD PZT 커패시터 특성에 미치는 전극의 영향 = Effect of electrodes on the characteristics of ECR PECVD PZT capacitors for the application to FRAM deviceslink

이희철; Lee, Hee-Chul; et al, 한국과학기술원, 2002

15
MEAM 및 몬테카를로 전산모사에 의한 Pt-Co 박막에서 규칙/불규칙 전이거동에 관한 연구 = Study on order/disorder transition in the Pt-Co thin film using meam and monte carlo simulationlink

김형규; Kim, Hyoung-Gyu; et al, 한국과학기술원, 2003

16
MOCVD법으로 제조한 PZT박막에서의 $PbTiO_3$ buffer층의 영향 = The effects of $PbTiO_3$ buffer layer onPZT thin fIlms by MOCVDlink

박용준; Park, Yong-Joon; et al, 한국과학기술원, 1996

17
Origin of residual stress and its relationship with crystallographic orientation of sputtered thin films = 스퍼터링법으로 증착한 박막의 잔류응력 생성 원인 및 결정 방향성과의 관계link

Choi, Han-Mei; 최한메; et al, 한국과학기술원, 1999

18
Pd게이트 MOS센서의 수소검지특성에 박막성질이 미치는 영향 = The effect of the thin film properties on the hydrogen sensing performance of Pd gate MOS sensorlink

하정균; Ha, Jeong-Kyun; et al, 한국과학기술원, 1997

19
PLD 법을 이용한 $YBa_2Cu_3O_x$ 고온 초전도체의 증착특성에 관한 연구 = A study on deposition of $YBa_2Cu_3O_x$ high temperature superconductor by PLDlink

황두섭; Hwang, Doo-Sup; et al, 한국과학기술원, 1996

20
Pneumatic loading method로 측정한 PZT 박막의 압전특성 평가 = Study on the piezoelectric characteristics of PZT thin film measured by pneumatic loading methodlink

변금효; Byon, Kum-Hyo; et al, 한국과학기술원, 2001

21
Preparation of quasi-ordered hollow $SnO_2$ hemispheres using colloidal templating route and its application to gas sensors = 콜로이달 템플레이팅 기술을 이용한 준정렬된 공동반구 구조의 $SnO_2$ 제작 및 가스센서로의 응용link

Chang, Young-Eun; 장영은; et al, 한국과학기술원, 2009

22
Synthesis of tungsten oxide nanostructures and electrochromic property of LB films = 텅스텐 산화물 나노 구조의 합성과 LB 박막의 전기변색 특성link

Jung, Young-Hwa; 정영화; et al, 한국과학기술원, 2005

23
광리소그래피 위상변위마스크용 Cr-Al-O-N 박막의 개발 = Development of chromium aluminum oxynitride films as a phase shifting mask material for optical lithographylink

김은아; Kim, Eun-Ah; et al, 한국과학기술원, 2001

24
마스크 없는 Pendeo epitaxy 공정에 의한 저결함 GaN 박막의 미세구조 연구 = Microstructural characterization of the low dislocation density GaN films grown by maskless pendeo epitaxylink

박동준; Park, Dong-Jun; et al, 한국과학기술원, 2004

25
메조포러스 실리카와 Organosilicate 박막의 제조 및 특성 = Fabrication and characteristics of mesoporous silica and organosilicate thin filmslink

정지인; Jung, Ji-In; et al, 한국과학기술원, 2005

26
세라믹스 및 박막으로 구현된 MPB 조성의 $PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-PbTiO_3$ 고용체의 상공존 안정성 및 전기적 특성 = Phase stability and electrical properties of thin film and ceramics near the morphotropic phase boundary of $(1-x)PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-(x)PbTiO_3$link

임기빈; Im, Ki-Vin; et al, 한국과학기술원, 2001

27
졸-겔법을 통해 제조된 $LiCoO_2$ 박막정극의 전기화학적 특성 = The electrochemical properties of $LiCoO_2$ thin film cathode prepared by sol-gel processlink

김문규; Kim, Mun-Kyu; et al, 한국과학기술원, 2002

28
클러스터 변분법을 이용한 열역학 고찰과 상태도 계산 및 응용에 관한 연구 = On thermodynamic analysis and phase diagram calculation using cluster variation method and its applicationlink

서정룡; Soh, Jeong-Ryong; et al, 한국과학기술원, 1998

29
타이타늄실리사이드 박막의 응집현상과 응력의 영향에 관한 연구 = Study on the agglomeration of TiSi2 thin film and stress effectlink

나종주; Rha, Jong-Joo; et al, 한국과학기술원, 1997

30
테스트 패턴을 이용한 다결정 실리콘 박막의 열팽창 계수 측정에 관한 연구 = Measurement of thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon thin film by micro test patternslink

채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 1997

31
표면장력 및 온도 경사도를 이용한 계면 자가조립 대면적 MoS2 박막 제조 = Interfacial self-assembly of large-area MoS2 thin film by surface tension & temperature Gradientlink

윤태영; Yun, Taeyeong; et al, 한국과학기술원, 2015

32
희토류 금속 착화물이 첨가된 메조페이스 실리카 박막의 제조 및 특성 = Fabrication and characteristics of mesophase silica thin films doped with rare earth metal complexlink

서석준; Seo, Seok-Jun; et al, 한국과학기술원, 2006

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