학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 2000.2, [ iv, 129 p. ]
질소 플라즈마 처리; 어닐링; 박막; 질화 알루미늄; 마이크로웨이브 플라즈마; Microwave plasma; Nitrogen plasma treatment; Annealing; Thin film; AlN
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