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29761
ECR plasma enhanced multi-target sputtering 법을 이용한 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 제조 및 특성 평가

이원종; 김성태; 김현호, 한국재료학회 추계학술연구발표회 1996, pp.0 - 0, 1996-01-01

29762
ECR plasma oxidation effects on performance and stability of polysilicon thin film transistors

Lee Jung-Yeal; Han Chul-Hi; Kim, Choong Ki, Proceedings of the 1994 IEEE International Electron Devices Meeting, pp.523 - 526, 1994-12-11

29763
ECR thermal oxidation을 이용한 Bottom gate poly-Si TFT의 제작 및 특성 분석

한철희, 한국반도체학술대회, 1995

29764
ECR 플라즈마를 이용한 Cu박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이원종; 천성순, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1995-11

29765
ECR-Mocvd를 이용한 SrTiO3박막의 증착 및 특성 평가

노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 이원종; 유병곤, 한국요업학회 추계발표대회, 한국요업학회, 1995-01-01

29766
ECR-MOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가

노광수, 한국재료학회 추계학술발표 1995, 한국재료학회, 1995-01-01

29767
ECR-MOCVD법을 이용한 PLZT박막의 제조

노광수, 한국재료학회 추계학술발표, 한국재료학회, 1995-01-01

29768
ECR-PECVD 방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향

이원종, 한국요업학회 1993 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1993-01-01

29769
ECR-PECVD Ta2O5 증착시 형성되는 SiO2에 관한 연구

이원종; 안성덕; 김일; 김종석; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술발표 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

29770
ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향

이원종; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술연구발표회1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

29771
ECR-PECVD법으로 증착된 Al2O3절연 박막의 특성에 관한 연구

이원종; 이재균; 전병혁, 한국재료학회 춘계학술연구발표회 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

29772
ECR-PECVD법을 사용한 VLSI DRAM용 PZT박막제조

노광수; 김재환; 신중식; 김성태; 위당문; 이원종, 한국진공학회 추계학술발표대회, 한국진공학회, 1995-01-01

29773
ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성비교

이원종; 전병혁; 김종석; 이응직; 백종태; 강상원, 한국요업학회 추계학술연구발표회 1994, pp.0 - 0, 1994-01-01

29774
ECR-PEMOCVD법으로 증착한 SrTiO3 박막에 Ar carrier gas의 flow rate가 미치는 영향

노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 추계학술발표대회, 한국요업학회, 1999-01-01

29775
ECR-PEMOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가

노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 곽동화; 유병곤, 한국재료학회 추계학술발표, v.B31, 한국재료학회, 1995

29776
ECR-PEMOCVD법을 이용한 ST thin film 증착시 Ti single source의 제어

노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 춘계학술발표, 한국요업학회, 1999-01-01

29777
ECR-plasma가 TiO2 박막의 성장에 미치는 영향

이원종; 노광수; 이준성; 윤대성; 전병혁; 유병곤, 한국요업학회 춘계학술연구발표회 1995, pp.0 - 0, 한국요업학회, 1995-01-01

29778
ECRCVD에 의해 증착한 SiOF 저유전율 박막의 고유응력 발생원인

최시경; Kim, SP, 추계 한국요업학회, 1999

29779
ECRMS: A Meta System for SE Environment Incorporating Abstraction Mechanism

Park, Sung Joo; Woo, J. M., CASE'88, pp.627 - 631, 1988

29780
ECRPECVD법으로 증착한 SiOF박막의 잔류응력 안정화에 관한 연구A study on the stabilization of residual stress in SiOF thin films deposited by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition

최시경; 김석필; 박영수; 정일섭, 한국요업학회, pp.192 -, 2000

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