Browse "PH-Conference Papers(학술회의논문)" by Author 장홍영
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| Effect of bounce resonance heating on Electron Energy Distribution Function in a small Inductively Coupled Plasma 정진욱; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 제17회 학술발표회, 한국진공학회, 1999-07 |
| Plasma parameter control studies for next generation plasma processing 장홍영, 한국물리학회 학술대회, 한국물리학회, 2003 |
| Plasma parameter control studies in next generation processing 장홍영, SEMICON KOREA 2003, SEMICON, 2003-01 |
| power dissipation mode transition by a magnetic field 유신재; 정진욱; 배근희; 장홍영, 한국진공학회 2002년도 제23회 학술발표회, 한국진공학회, 2002 |
| Wave profile changes at lower hybrid resonance in Helicon plasma 엄세훈; 엄한섭; 장홍영, KAPRA & KPS/DPP Workshop 2000, KAPRA & KPS/DPP, 2000 |
| 고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구 김정형; 서상훈; 윤석민; 장홍영, 한국진공학회 제9회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
| 고출력 펄스레이져에 의해서 생성되는 고온의 플라즈마 온도 측정 장홍영, 한국물리학회 학술발표회, 한국물리학회, 1988 |
| 그리드를 이용한 플라즈마 변수 제어에 따른 Ar/CF4 플라즈마에서 중성종 및 이온들의 분포변화 홍정인; 배근희; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 제17회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구 인정환; 정민재; 한전건; 장홍영, 한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회, 한국표면공학회, 2003 |
| 두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정 인정환; 인정환; 장홍영, 한국진공학회 2003년도 제24회 학술발표회 , 한국진공학회, 2003 |
| 유도결합 플라즈마에서 E-H 모드 전이 및 전자에너지 분포함수의 주파수 특성 연구 서상훈; 홍정인; 배근희; 장홍영, 한국진공학회 제15회 학술발표회, 한국진공학회, 1998 |
| 유도결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마 제어에 관한 연구 홍정인; 서상훈; 배근희; 장홍영; 윤남식, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 유도결합 플라즈마에서의 전자에너지 분포 특성 및 Ramsauer 효과에 대한 연구 서상훈; 김성식; 홍정인; 배근희; 장충석; 장홍영, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 차세대 식각 공정을 위한 플라즈마 변수 제어에 관한 연구 장홍영, 제10회 한국반도체학술대회, 2003 |
| 축전 차폐막이 없는 유도결합 아르곤 플라즈마에서 전자에너지 분포 및 플라즈마 전위에 대한 연구 서상훈; 홍정인; 장홍영, 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 , 한국진공학회, 1999 |
| 헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구 김정형; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
| 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 윤석민; 서상훈; 김정형; 장홍영, 한국진공학회 제10회 학술발표회, 한국진공학회, 1996-03 |
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Type
- 2 Article
- 4,334 Conference
Date issued
- 306 2020 - 2024
- 1,344 2010 - 2019
- 1,118 2000 - 2009
- 1,179 1990 - 1999
- 327 1980 - 1989