두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정

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Publisher
한국진공학회
Issue Date
2003
Language
KOR
Citation

한국진공학회 2003년도 제24회 학술발표회

URI
http://hdl.handle.net/10203/149142
Appears in Collection
PH-Conference Papers(학술회의논문)
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