| 1 | Plasma producing apparatus and substrate board treatment 장홍영; 이윤성; 서상훈, 2019-05-21 |
| 2 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 장홍영; 박민; 채수항; 안승규, 2010-07-05 |
| 3 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 예비 전극 구조체, 측정 전극 구조체, 및 공정 전극 구조체 장홍영; 이헌수, 2011-12-06 |
| 4 | 낮은 전자온도를 갖는 플라즈마 발생 방법 및 그 장치 장홍영; 서상훈; 정원봉; 채수항; 김재현; 이상원; 엄세훈, 2008-03-27 |
| 5 | 내부 안테나 구조체 및 플라즈마 발생 장치 장홍영; 이헌수, 2011-09-30 |
| 6 | 발진기 및 발진기의 제조 방법 장홍영; 배인식; 나병근, 2014-05-28 |
| 7 | 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나 장치 장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2002-05-13 |
| 8 | 유도 결합형 플라즈마를 생성하기 위한 안테나 장치 장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2001-09-11 |
| 9 | 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 장홍영; 이헌수, 2011-12-26 |
| 10 | 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 장홍영; 이헌수, 2011-06-24 |
| 11 | 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 장홍영; 이헌수 |
| 12 | 이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법 장홍영; 서상훈; 채수항; 박민; 이헌수, 2009-06-10 |
| 13 | 전자빔과 축전결합 플라즈마를 이용한 플라즈마 처리 장치 장홍영; 배인식; 박기정, 2018-01-12 |
| 14 | 증발형 증착 장치 및 증착 방법 장홍영; 배인식, 2013-10-22 |
| 15 | 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 그 형성 방법 장홍영; 이헌수, 2012-05-23 |
| 16 | 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-08-30 |
| 17 | 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-06-20 |
| 18 | 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 축전 결합 플라즈마 발생 방법 장홍영; 이헌수, 2011-12-06 |
| 19 | 축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정; 이윤성, 2017-05-16 |
| 20 | 측정 패턴 구조체, 공정 패턴 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수, 2010-08-24 |
| 21 | 측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수, 2011-09-05 |
| 22 | 측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수, 2011-10-07 |
| 23 | 측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 장홍영; 이헌수 |
| 24 | 탄소나노튜브 패치, 그 제조 방법, 및 그 사용 방법 장홍영; 김종욱; 이헌수, 2010-10-28 |
| 25 | 테슬러 코일을 이용한 미세먼지 차단 시스템 장홍영; 배인식, 2016-11-07 |
| 26 | 플라즈마 발생 장치 장홍영; 서상훈; 인정환, 2011-12-27 |
| 27 | 플라즈마 발생 장치 장홍영, 2012-10-25 |
| 28 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-05-09 |
| 29 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-07-31 |
| 30 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-03-19 |
| 31 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2014-08-01 |
| 32 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 이윤성; 서상훈, 2018-10-24 |
| 33 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2018-03-02 |
| 34 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성 |
| 35 | 플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치 장홍영; 서상훈; 이헌수; 이윤성, 2011-12-09 |
| 36 | 플라즈마 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 이진원, 2013-03-15 |
| 37 | 플라즈마 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 이진원, 2017-05-08 |
| 38 | 플라즈마 처리장치 및 플라즈마 처리방법 장홍영; 황태영, 2012-08-08 |
| 39 | 플라즈마 처리장치 및 플라즈마 처리방법 장홍영; 황태영, 2014-09-11 |
| 40 | 헬리콘 플라즈마 장치 장홍영; 안상혁, 2012-05-23 |
