이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법THE ION BEAM GENERATING APPARATUS WITH BIAS ELECTRODE AND THE METHOD OF THE SAME
본 발명은 이온, 전자, 중성 가스를 포함하는 플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생 장치부, 상기 플라즈마를 담고 있는 소오스 진공 용기, 상기 소오스 진공 용기 내부에 배치된 바이어스 전극, 및 상기 소오스 진공 용기에서 이온을 가속하여 추출하는 이온 추출부를 포함하되, 상기 바이어스 전극에 의하여 이온의 에너지를 상승시킨다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2009-06-10
- Application Date
- 2007-08-08
- Application Number
- 10-2007-0079686
- Registration Date
- 2009-06-10
- Registration Number
- 10-0903295-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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