이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법THE ION BEAM GENERATING APPARATUS WITH BIAS ELECTRODE AND THE METHOD OF THE SAME
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 장홍영 | ko |
| dc.contributor.author | 서상훈 | ko |
| dc.contributor.author | 채수항 | ko |
| dc.contributor.author | 박민 | ko |
| dc.contributor.author | 이헌수 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-18T04:45:17Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-18T04:45:17Z | - |
| dc.date.issued | 2009-06-10 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/228263 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 이온, 전자, 중성 가스를 포함하는 플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생 장치부, 상기 플라즈마를 담고 있는 소오스 진공 용기, 상기 소오스 진공 용기 내부에 배치된 바이어스 전극, 및 상기 소오스 진공 용기에서 이온을 가속하여 추출하는 이온 추출부를 포함하되, 상기 바이어스 전극에 의하여 이온의 에너지를 상승시킨다. | - |
| dc.title | 이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법 | - |
| dc.title.alternative | THE ION BEAM GENERATING APPARATUS WITH BIAS ELECTRODE AND THE METHOD OF THE SAME | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서상훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 채수항 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박민 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이헌수 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2007-0079686 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0903295-0000 | - |
| dc.date.application | 2007-08-08 | - |
| dc.date.registration | 2009-06-10 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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