플라즈마 발생 장치

Abstract

본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 진공 용기, 진공 용기를 형성된 관통홀에 연결된 복수의 유전체들, 유전체들 각각의 주위에 배치되고 전기적으로 병렬 연결된 동일한 구조의 복수의 RF 코일들, RF 코일들에 전력을 공급하는 RF 전원, RF 전원과 RF 코일들 사이에 배치된 임피던스 매칭 회로, 및 임피던스 매칭 회로와 RF 코일들의 일단 사이에 배치되어 RF 전원의 전력을 RF 코일들에 분배하는 전력 분배부를 포함한다. 전력 분배부는 전원 분배라인; 및 전원 분배라인을 감싸고 있는 도전성 외피를 포함한다. 전력 분배부의 입력단과 상기 RF 코일들 사이의 거리가 동일하고, RF 코일들의 타단은 도전성 외피에 연결되어 접지된다.