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자동정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각 방법 김충기; 한철희, 대한전기학회 전기재료연구회 학술발표대회, 1995 | |
ECR N2O-플라즈마 산학막을 게이트 절연막으로 하는 짧은 채널 길이를 갖는 N 및 P 채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 신뢰성 한철희, 한국정보디스플레이 학술대회, pp.71 - 72, 1998 | |
자외선조사를 이용한 구리의 유도결합 플라즈마식각 한철희, 대한전기학회 학술대회, pp.9 -, 1997 | |
Exact Trap Evaluation by Charge Pumping Method in poly-Si TFTs 한철희, 반도체 학술대회, pp.217 - 218, 1999 | |
실리콘 마이크로머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 한철희, 대한전자공학회 하계 종합학술대회, pp.309 - 312, 1996 | |
A Refractive Silicon Microlens Array Using Bulk Micromachining Technology 한철희, 한국반도체학술대회, pp.385 - 386, 2000 | |
ECR thermal oxidation을 이용한 Bottom gate poly-Si TFT의 제작 및 특성 분석 한철희, 한국반도체학술대회, 1995 | |
새로운 행 진폭 변조 방법에 의한 고속 액정 표시기의 구현 한철희, 한국반도체학술대회, 1995 | |
부정합 전위가 제기된 Heavily Boron-doped 실리콘 Membrane의 기계적 성질 김충기; 이호준; 한철희, 한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집, pp.399 - 400, 1994 | |
Short channel effects in n-and p-channel polysilicon TFT's with very thin ECRN2O-plasma gate dielectric 한철희, 한국 정보디스플레이 학술대회, 1997 |
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