ECR N2O-플라즈마 산학막을 게이트 절연막으로 하는 짧은 채널 길이를 갖는 N 및 P 채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 신뢰성
- Issue Date
- 1998
- Language
- KOR
- Citation
한국정보디스플레이 학술대회, pp.71 - 72
- Appears in Collection
- RIMS Conference Papers
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