ECR N2O-플라즈마 산학막을 게이트 절연막으로 하는 짧은 채널 길이를 갖는 N 및 P 채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 신뢰성

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Issue Date
1998
Language
KOR
Citation

한국정보디스플레이 학술대회, pp.71 - 72

URI
http://hdl.handle.net/10203/123468
Appears in Collection
RIMS Conference Papers
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