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박막 트랜지스터 및 이의 제조 방법

박재우; 김철환; 이형섭; 권영호, 2015-07-03

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박막 트랜지스터 및 이의 제조 방법

박재우; 전남호; 유승협; 이형섭; 김철환; 이규환, 2015-07-09

3
박막 트랜지스터 및 이의 제조 방법

박재우; 전남호; 유승협; 이형섭; 김철환; 이규환, 2014-09-30

4
반도체 소자 및 이의 제조 방법

박재우; 김철환; 이규환; 이창재, 2014-10-24

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유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나 장치

장홍영; 이용관; 윤남식; 김성식; 이평우, 2002-05-13

6
플라즈마 발생 장치

장홍영; 서상훈; 인정환, 2011-12-27

7
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-05-09

8
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-03-19

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