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Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Author 김종석

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1
ECR PECVD방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향(초록 No;C-32)

이원종; 이정용; 안성덕; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; et al, 한국요업학회 추계학술연구발표회, 1993

2
ECR 플라즈마 기상화학증착법에 의한 초고집적 회로의 기억소자용 탄탈륨 산화 박막의 제조 및 특성에 관한 연구 = A study on the tantalum oxide dielectric thin films for memory devices of ULSI by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor depositionlink

김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1993

3
ECR 플라즈마 기상화학증착법으로 제조한 초고집적회로 금속화공정의 확산방지용 TiN 박막의 특성 = The characteristics of TiN thin films prepared by ECR-PECVD as a diffusion barrier layer in ULSI metallization processlink

김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1997

4
ECR-PECVD Ta2O5 증착시 형성되는 SiO2에 관한 연구

이원종; 안성덕; 김일; 김종석; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술발표 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

5
ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향

이원종; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술연구발표회1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

6
ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성비교

이원종; 전병혁; 김종석; 이응직; 백종태; 강상원, 한국요업학회 추계학술연구발표회 1994, pp.0 - 0, 1994-01-01

7
Effect of a Series Connection of a Bi-Electrolyte Hydrogen Sensor in a Leak Detector

한혁진; 박종욱; 홍영규; 김종석; 양정우; 김윤서, 센서학회지, v.24, no.1, pp.6 - 9, 2015-01

8
RF PECVD 법에 의해 증착된 TiN 박막의 조성, 구조 및 전기적 특성

전병혁; 김종석; Lee, Won-Jong, KOREAN JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH, v.5, no.5, pp.552 - 559, 1995-08

9
RF-PECVD법과 ECR-PECVD 법에 의해 증착된 TiN박막의 물성비교 연구

이원종; 김종석; 전병혁; 이응직, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1995-01-01

10
산소와 질소분위기에서 열처리된 ECR- PECVD 탄탈륨 산화막의 전기적 성질 연구

이원종; 김일; 김종석; 안성덕; 천성순, 한국재료학회 춘계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1994-05

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