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4061	ECR PECVD법에 의한 페로브스카이트상(Pb, La)TiO3 박막 증착 연구 Jeong, Seong-Ung; Park, Hye-Ryeon; Lee, Won-Jong, 한국재료학회지, v.7, no.1, pp.33 - 39, 1997-04
4062	ECR PECVD법으로 증착된 lead titanate박막의 조성과 미세구조에 대한 증착변수의 영향 정수옥; 정성웅; 이원종, 한국재료학회지, v.7, no.2, pp.93 - 101, 1997-04
4063	ECR PECVD법으로 증착한 PZT 커패시터의 전극이 미치는 영향 이원종; 이희철, 한국재료학회 춘계학술발표대회, pp.0 - 0, 2000-05-01
4064	ECR PECVD법을 이용한 SiOF 박막의 증착 특성 및 유전율 안정화에 관한 연구 = A study on the deposition characteristics and the dielectric stability of the SiOF films deposited by ECR PECVD link 변경문; Byun, Kyung-Mun; et al, 한국과학기술원, 1999
4065	ECR PECVD법을 이용한 ULSI DRAM Capacitor용 (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 제조 및 특성 평가 연구 = Fabrication and characterization of ECR PECVD (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ thin films for the charge storage capacitors of ULSI DRAM link 신중식; Shin, Joong-Shik; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 1997
4066	ECR PECVD에 의한 다이아몬드 막의 식각특성에 관한 연구 = A study on the etching characteristics of diamond film by ECR PECVD link 조두현; Cho, Du-Hyun; et al, 한국과학기술원, 1999
4067	ECR plasma enhanced DC magnetron multi-target sputtering 방법을 이용한 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 박막의 제조 및 특성 평가 연구 = Preparation and characterization of $Pb(Zr,Ti)O_3$ thin films by ECR plasma enhanced DC magnetron multi-target sputtering link 김성태; Kim, Sung-Tae; et al, 한국과학기술원, 1997
4068	ECR plasma enhanced multi-target sputtering 법을 이용한 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 제조 및 특성 평가 이원종; 김성태; 김현호, 한국재료학회 추계학술연구발표회 1996, pp.0 - 0, 1996-01-01
4069	ECR 산소 플라즈마에 의한 SiO2 박막의 성장 거동 및 전기적 특성 안성덕; 이원종, 한국세라믹학회지, v.32, no.3, pp.371 - 377, 1995-04
4070	ECR 플라즈마 기상화학증착법에 의한 초고집적 회로의 기억소자용 탄탈륨 산화 박막의 제조 및 특성에 관한 연구 = A study on the tantalum oxide dielectric thin films for memory devices of ULSI by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition link 김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1993
4071	ECR 플라즈마 기상화학증착법으로 제조한 초고집적회로 금속화공정의 확산방지용 TiN 박막의 특성 = The characteristics of TiN thin films prepared by ECR-PECVD as a diffusion barrier layer in ULSI metallization process link 김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1997
4072	ECR 플라즈마 화학 증착법에 의해 증착된 aluminum oxide 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the properties of the aluminum oxide thin film deposited by ECR plasma CVD link 정성웅; Chung, Sung-Woong; et al, 한국과학기술원, 1992
4073	ECR 플라즈마 화학기상증착법에 의한 0.12nm SiO2 환산두께를 갖는 Pb(Zr, Ti)O3 유전박막의제조 김재환; 김용일; 위당문; 이원종, 한국재료학회지, v.7, no.8, pp.635 - 639, 1997-04
4074	ECR 플라즈마 화학증착법에 의해 제조된 PZT 박막의 미세구조에 관한 연구 = The study of the microstructure of the PZT thin film deposited by ECR PECVD link 정수옥; Chung, Su-Ock; et al, 한국과학기술원, 1995
4075	ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식 식각특성에 관한 연구 = A study on the dry etching characteristics of $RuO_2$ thin film in electron cyclotron resonance plasma link 이응직; Lee, Eung-Jik; et al, 한국과학기술원, 1998
4076	ECR 플라즈마를 이용한 Cu박막의 건식 식각특성에 관한 연구 이원종; 천성순, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1995-11
4077	ECR 플라즈마를 이용한 플라즈마 산화에 관한 연구 = A study on the plasma oxidation using electron cyclotron resonance plasma link 안성덕; Ahn, Seong-Deok; et al, 한국과학기술원, 1994
4078	ECR-Mocvd를 이용한 SrTiO3박막의 증착 및 특성 평가 노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 이원종; 유병곤, 한국요업학회 추계발표대회, 한국요업학회, 1995-01-01
4079	ECR-MOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가 노광수, 한국재료학회 추계학술발표 1995, 한국재료학회, 1995-01-01
4080	ECR-MOCVD법을 이용한 PLZT박막의 제조 노광수, 한국재료학회 추계학술발표, 한국재료학회, 1995-01-01

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