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71061
ECR 플라즈마 기상화학증착법으로 제조한 초고집적회로 금속화공정의 확산방지용 TiN 박막의 특성 = The characteristics of TiN thin films prepared by ECR-PECVD as a diffusion barrier layer in ULSI metallization processlink

김종석; Kim, Jong-Seok; et al, 한국과학기술원, 1997

71062
ECR 플라즈마 산화를 이용한 하위 게이트 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작 및 특성 분석 = Fabrication and characterization of bottom-gate poly-Si TFT using ECR plasma oxidationlink

한정인; Han, Jung-In; et al, 한국과학기술원, 1995

71063
ECR 플라즈마 화학 증착법에 의해 증착된 aluminum oxide 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the properties of the aluminum oxide thin film deposited by ECR plasma CVDlink

정성웅; Chung, Sung-Woong; et al, 한국과학기술원, 1992

71064
ECR 플라즈마 화학기상증착법에 의한 0.12nm SiO2 환산두께를 갖는 Pb(Zr, Ti)O3 유전박막의제조

김재환; 김용일; 위당문; 이원종, 한국재료학회지, v.7, no.8, pp.635 - 639, 1997-04

71065
ECR 플라즈마 화학증착법에 의해 제조된 PZT 박막의 미세구조에 관한 연구 = The study of the microstructure of the PZT thin film deposited by ECR PECVDlink

정수옥; Chung, Su-Ock; et al, 한국과학기술원, 1995

71066
ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식 식각특성에 관한 연구 = A study on the dry etching characteristics of $RuO_2$ thin film in electron cyclotron resonance plasmalink

이응직; Lee, Eung-Jik; et al, 한국과학기술원, 1998

71067
ECR 플라즈마를 이용한 Cu박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이원종; 천성순, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1995-11

71068
ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화 박막 증착

Sun-Kyu Song; Hong-Young Chang, 한국표면공학회지, v.23, no.4, pp.218 - 224, 1990

71069
ECR 플라즈마를 이용한 플라즈마 산화에 관한 연구 = A study on the plasma oxidation using electron cyclotron resonance plasmalink

안성덕; Ahn, Seong-Deok; et al, 한국과학기술원, 1994

71070
ECR 플라즈마의 전산모델링에 관한 연구 = Computer modeling of ECR plasmalink

김용진; Kim, Yong-Jin; 장충석; 문희태; et al, 한국과학기술원, 1992

71071
ECR(전자 싸이클로트론 공명)에 의해서 생성된 플라즈마의 특성 조사

송선규; 장홍영; 최덕인; 장충석, 응용물리, v.3, no.2, pp.171 - 175, 1990-05

71072
ECR-Mocvd를 이용한 SrTiO3박막의 증착 및 특성 평가

노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 이원종; 유병곤, 한국요업학회 추계발표대회, 한국요업학회, 1995-01-01

71073
ECR-MOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가

노광수, 한국재료학회 추계학술발표 1995, 한국재료학회, 1995-01-01

71074
ECR-MOCVD법을 이용한 PLZT박막의 제조

노광수, 한국재료학회 추계학술발표, 한국재료학회, 1995-01-01

71075
ECR-PECVD 방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향

이원종, 한국요업학회 1993 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1993-01-01

71076
ECR-PECVD PZT 박막의 FRAM 소자로의 응용에 관한 연구 = The study on the applicaions to FRAM with PZT thin film fabricated by ECR-PECVDlink

정수옥; Chung, Su-Ock; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000

71077
ECR-PECVD Ta2O5 증착시 형성되는 SiO2에 관한 연구

이원종; 안성덕; 김일; 김종석; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술발표 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

71078
ECR-PECVD 법으로 제조한 PZT 박막의 물성 연구 = Characteriszation of PZT thin films prepared by ECR-PECVDlink

김재환; Kim, Jae-Whan; 위당문; 이원종; et al, 한국과학기술원, 1996

71079
ECR-PECVD 법으로 증착된 $Al_2O_3$ 박막의 증착 특성에 관한 연구 = Deposition characteristics of the ECR-PECVD $Al_2O_3$ thin filmslink

이재균; Lee, Jae-Kuin; et al, 한국과학기술원, 1994

71080
ECR-PECVD 법으로 증착한 TiN 박막의 Cu에 대한 확산방지막 특성 = The barrier property of ECR-PECVD TiN film against Cu diffusionlink

이수정; Lee, Soo-Jeong; et al, 한국과학기술원, 1997

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