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기상 증착 장치

임성갑; 김봉준, 2015-10-20

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기상 증착공정을 이용한 갭필링 방법 및 그 장치

임성갑; 박용천; 정기훈; 이창현; 김유손; 이유진

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기상 함침법에 의한 메조포러스 분자체 내의 $C_{60}$ 함유에 관한 연구 = The incorporation of $C_{60}$ in mesoporous molecular sieve by vapor phase impregnation methodlink

박천호; Park, Chun-Ho; et al, 한국과학기술원, 1999

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기상계측 시스템을 이용한 머시닝센터의 열변형 오차 모델링 및 오차측정

이재종; 양민양, 한국정밀공학회지, v.17, no.1, pp.120 - 128, 2000-01

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기상계측시스템을 이용한 머시닝센터의 기하오차 모델링 및 오차측정

이재종; 양민양, 한국정밀공학회지, v.95, pp.201 - 210, 1999-01

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기상계측을 위한 머시닝센터의 기하 오차 모델링

이재종; 양민양, 한국정밀공학회 춘계학술대회, 1998

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기상반응법에 의한 ZnO 초미립자 제조 및 광촉매 활성

박승빈; 이종호; 강윤찬, 화학공학의 이론과 응용 5[1], pp.1837 - 1840, 1999

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기상반응에 의한 페놀로부터 사이클로헥센 제조 = Manufacturing of cyclohexene from phenol by vapor-phase reactionlink

양세인; 김재호; Yang, Se-In; Kim, Jae-Ho; et al, 한국과학기술원, 1980

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기상법과 FEAG 공정에 의해서 제조되어진 나노미터 ZnO 입자의 광분해 특성

이종호; 강윤찬; 박승빈, 제1회 에어로졸 및 미립자 기술 학회, pp.39 - 40, 에어로졸 및 미립자 기술 학회, 1999

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기상법에 의한 나노미터 크기의 티타니아 입자의 기상 제조 및 TCE 광분해

장희동; 이경익; 정경열; 김현석; 박승빈, 화학공학의 이론과 응용 5[2], pp.3933 - 3936, 1999

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기상법에 의한 보론 함유 다성분계 산화물 형광체의 제조

박승빈; 강윤찬; 정윤섭, 화학공학의 이론과 응용 5[1], pp.1805 - 1808, 1999

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기상법에 의해 제조한 YAG:Cr 형광체

강윤찬; 정윤섭; 박승빈, KOREAN CHEMICAL ENGINEERING RESEARCH(HWAHAK KONGHAK), v.38, no.1, pp.62 - 66, 2000-02

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기상유도결정화 및 RTA 공정에 의한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구 = Fabrication of polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistorslink

양용호; Yang, Yong-Ho; et al, 한국과학기술원, 2011

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기상유도결정화법 및 Hot-wire CVD 방법을 이용한 대결정립 다결정 Si 박막 성장에 관한 연구 = Growth of large-grained poly-Si film using vapor-induced crystallization and hot-wire CVDlink

강승모; Kang, Seung-Mo; et al, 한국과학기술원, 2012

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기상유도결정화법과 급속열처리를 이용한 다결정 Si 박막에서의 Ni 금속 오염량 감소 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구 = Control of Ni contamination in polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistorslink

김존수; Kim, John-Soo; et al, 한국과학기술원, 2013

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기상유도결정화법에 의한 비정질 Si 박막의 저온결정화와 다결정 Si 박막트랜지스터에의 응용에 관한 연구 = Low temperature crystallization of amorphous Si thin films using vapor-induced crystallization and its application to polycrystalline Si thin film transistorslink

엄지혜; Eom, Ji-Hye; et al, 한국과학기술원, 2005

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기상유도결정화와 후속 Pulsed RTA를 이용한 다결정 실리콘 박막의 제조

Ahn, Byung Tae, 한국재료학회 추계학술발표대회, 2007-11-02

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기상증착 고분자 절연층을 이용한 유연 비휘발성메모리

유승협; 문한얼; 이승원

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기상촉매반응에 의한 에탄올로부터 부타디엔의 제조 = Butadiene from ethanol by vapor phase, catalytic reactionlink

문상진; 김경호; 한도흥; Moon, Sang-Jin; Kim, Kyung-Ho; Han, Do-Hung; et al, 한국과학기술원, 1981

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기상측정을 위한 고진동 둔감 특성 광섬유 점회절 간섭계 = Large vibration-desensitized fiber-optic point-diffraction interferometer for on-machine measurementlink

권택민; Kwon, Taek-Min; et al, 한국과학기술원, 2011

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