기상유도결정화 및 RTA 공정에 의한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구Fabrication of polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistors
- Advisors
- 안병태researcher; Ahn, Byung-Taeresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 신소재공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2011
- Identifier
- 466406/325007 / 020075102
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2011.2, [ vi, 129 p. ]
- Keywords
poly-Si; TFT; RTA; VIC; 박막트랜지스터; 폴리실리콘; 급속열처리; 기상유도결정화
- Appears in Collection
- MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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