기상유도결정화 및 RTA 공정에 의한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구Fabrication of polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistors
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 안병태 | - |
| dc.contributor.advisor | Ahn, Byung-Tae | - |
| dc.contributor.author | 양용호 | - |
| dc.contributor.author | Yang, Yong-Ho | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-15 | - |
| dc.date.available | 2011-12-15 | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=466406&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/49886 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2011.2, [ vi, 129 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | poly-Si | - |
| dc.subject | TFT | - |
| dc.subject | RTA | - |
| dc.subject | VIC | - |
| dc.subject | 박막트랜지스터 | - |
| dc.subject | 폴리실리콘 | - |
| dc.subject | 급속열처리 | - |
| dc.subject | 기상유도결정화 | - |
| dc.title | 기상유도결정화 및 RTA 공정에 의한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Fabrication of polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistors | - |
| dc.type | Thesis(Ph.D) | - |
| dc.identifier.CNRN | 466406/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 신소재공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 020075102 | - |
| dc.contributor.localauthor | 양용호 | - |
| dc.contributor.localauthor | Yang, Yong-Ho | - |
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