졸-겔법에 의한 PLZT 박막의 결정화 및 균열 생성

Abstract

졸-겔 스핀코팅법을 이용하여 PLZT 박막을 제조하였다. 7회 이상 코팅하여 600℃, 산소나 공기분위기에서 2시간동안 열처리하였을 때 perovskite상이 주로 나타났다. 9회 코팅시 박막이 기판보다 열팽창계수가 클 때 균열이 생기나, 박막이 기판보다 작을 때는 균열이 생기지 않았다. Corning 7059 glass 기판과 PLZT 막 사이에 ITO 중간층이 있는 경우 9회까지는 균열이 생기지 않았으나 11회 이상 코팅된 막에서, 열처리시 수축에 의한 큰 부피변화 때문에 균열이 생겼다. 박막의 미세구조 관찰에서 약 2㎛ 입자크기의 perovskite상과 100∼200Å 입자크기의 pyrochlore상을 관찰하였다.