졸-겔법에 의한 PLZT 박막의 결정화 및 균열 생성Crystallization and Crack Formation in Sol-Gel PLZT Thin Films

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dc.contributor.author안기철ko
dc.contributor.author이전국ko
dc.contributor.author김호기ko
dc.contributor.author노광수ko
dc.date.accessioned2008-12-05T09:58:11Z-
dc.date.available2008-12-05T09:58:11Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued1992-
dc.identifier.citation요업학회지, v.29, no.3, pp.216 - 222-
dc.identifier.issn1229-7801-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/7979-
dc.description.abstract졸-겔 스핀코팅법을 이용하여 PLZT 박막을 제조하였다. 7회 이상 코팅하여 600℃, 산소나 공기분위기에서 2시간동안 열처리하였을 때 perovskite상이 주로 나타났다. 9회 코팅시 박막이 기판보다 열팽창계수가 클 때 균열이 생기나, 박막이 기판보다 작을 때는 균열이 생기지 않았다. Corning 7059 glass 기판과 PLZT 막 사이에 ITO 중간층이 있는 경우 9회까지는 균열이 생기지 않았으나 11회 이상 코팅된 막에서, 열처리시 수축에 의한 큰 부피변화 때문에 균열이 생겼다. 박막의 미세구조 관찰에서 약 2㎛ 입자크기의 perovskite상과 100∼200Å 입자크기의 pyrochlore상을 관찰하였다.-
dc.languageKorean-
dc.language.isokoen
dc.publisher한국요업학회-
dc.title졸-겔법에 의한 PLZT 박막의 결정화 및 균열 생성-
dc.title.alternativeCrystallization and Crack Formation in Sol-Gel PLZT Thin Films-
dc.typeArticle-
dc.identifier.alternativecitationJournal of Korean Ceramic Society, v9, N3, p216en
dc.publisher.alternativeJournal of Korean Ceramic Societyen
dc.subject.alternativesol-gelen
dc.subject.alternativePLZTen
dc.type.rimsART-
dc.citation.volume29-
dc.citation.issue3-
dc.citation.beginningpage216-
dc.citation.endingpage222-
dc.citation.publicationname요업학회지-
dc.embargo.liftdate9999-12-31-
dc.embargo.terms9999-12-31-
dc.contributor.localauthor김호기-
dc.contributor.localauthor노광수-
dc.contributor.nonIdAuthor안기철-
dc.contributor.nonIdAuthor이전국-
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MS-Journal Papers(저널논문)
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