트렌티 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향Formation of Passivation Layer and Its Effect on the Defect Generation during Trench Etching
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이주욱 | ko |
| dc.contributor.author | 김상기 | ko |
| dc.contributor.author | 김종대 | ko |
| dc.contributor.author | 구진근 | ko |
| dc.contributor.author | 이정용 | ko |
| dc.contributor.author | 남기수 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-02T13:31:39Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-02T13:31:39Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1998-12 | - |
| dc.identifier.citation | 한국재료학회지, v.8, no.7, pp.634 - 640 | - |
| dc.identifier.issn | 1225-0562 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/73747 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국재료학회 | - |
| dc.title | 트렌티 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향 | - |
| dc.title.alternative | Formation of Passivation Layer and Its Effect on the Defect Generation during Trench Etching | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 8 | - |
| dc.citation.issue | 7 | - |
| dc.citation.beginningpage | 634 | - |
| dc.citation.endingpage | 640 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국재료학회지 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이정용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이주욱 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김상기 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김종대 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 구진근 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 남기수 | - |
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