학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 1996.2, [ v, 56 p. ]
수직 거울; 정전구동형 액츄에이터; 기판 가공; MEMS; Micromirror; Vertical mirror; Electrostatic actuator; Bulk etching; 마이크로머신; 초소형 거울
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