MEMS/NEMS 공정용 재료와 자기 조립 단분자층 사이의 나노트라이볼로지 특성 연구

Abstract

본 논문에서는 MEMS/NEMS 공정용 재료와 자기 조립 단분자층 사이의 나노트라이볼로지 특성을 파악하기 위하여 Atomic Force Microscope를 이용하여 실험을 수행하였다. Octadecyltrichorosilane과 perfluorooctyltrichorosilane이 SAM으로 사용 되었고 MEMS/NEMS 공정용 재료로 Si, Al, Au, Cu, Ti, PDMS, PMMA75k, PMMA540k이 사용이 되었다. AFM tip에 OTS,FOTS를 코팅하여 MEMS/NEMS 공정용 재료와 접촉시켜 마찰력과 점착력을 측정을 하여 SAM이 코팅되지 않은 경우의 마찰력과 점착력과 비교하였고, SAM이 MEMS/NEMS 공정용 재료와 접촉할때 마찰력과 점착력에 어떻게 영향을 미치는지 알아보기 위하여 마찰력과 점착력 증가 및 감소 비율을 계산하였다. 그 결과 SAM이 금속이나 PMMA75k와 접촉할 경우 마찰력과 점착력 감소효과가 크지만 PMMA540k, PDMS와 접촉할 경우 마찰력과 점착력이 오히려 커짐는 것을 알 수 있었다. 마찰력과 점착력은 OTS가 Cu, Al과 접촉할 경우 FOTS는 Al, Cu, PMMA75k와 접촉할경우 효과적으로 감소하는 것을 알 수 있었다.