MEMS/NEMS 공정용 재료와 자기 조립 단분자층 사이의 나노트라이볼로지 특성 연구 = A study on nanotribological characteristics between MEMS/NEMS materials and self-assembled monolayer

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본 논문에서는 MEMS/NEMS 공정용 재료와 자기 조립 단분자층 사이의 나노트라이볼로지 특성을 파악하기 위하여 Atomic Force Microscope를 이용하여 실험을 수행하였다. Octadecyltrichorosilane과 perfluorooctyltrichorosilane이 SAM으로 사용 되었고 MEMS/NEMS 공정용 재료로 Si, Al, Au, Cu, Ti, PDMS, PMMA75k, PMMA540k이 사용이 되었다. AFM tip에 OTS,FOTS를 코팅하여 MEMS/NEMS 공정용 재료와 접촉시켜 마찰력과 점착력을 측정을 하여 SAM이 코팅되지 않은 경우의 마찰력과 점착력과 비교하였고, SAM이 MEMS/NEMS 공정용 재료와 접촉할때 마찰력과 점착력에 어떻게 영향을 미치는지 알아보기 위하여 마찰력과 점착력 증가 및 감소 비율을 계산하였다. 그 결과 SAM이 금속이나 PMMA75k와 접촉할 경우 마찰력과 점착력 감소효과가 크지만 PMMA540k, PDMS와 접촉할 경우 마찰력과 점착력이 오히려 커짐는 것을 알 수 있었다. 마찰력과 점착력은 OTS가 Cu, Al과 접촉할 경우 FOTS는 Al, Cu, PMMA75k와 접촉할경우 효과적으로 감소하는 것을 알 수 있었다.
Advisors
김경웅researcherKim, Kyung-Woongresearcher
Description
한국과학기술원 : 기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2007
Identifier
264201/325007  / 020053645
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2007.2, [ ix, 87 p. ]

Keywords

자기 조립 단분자층; MEMS/NEMS 공정용 재료; 나노트라이볼로지; Nanotribology; Self-Assembled Monolayer; MEMS/NEMS Materials

URI
http://hdl.handle.net/10203/45575
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=264201&flag=dissertation
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ME-Theses_Master(석사논문)
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