DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.advisor | 김경웅 | - |
dc.contributor.advisor | Kim, Kyung-Woong | - |
dc.contributor.author | 허정철 | - |
dc.contributor.author | Heo, Jung-Chul | - |
dc.date.accessioned | 2011-12-14T06:42:49Z | - |
dc.date.available | 2011-12-14T06:42:49Z | - |
dc.date.issued | 2007 | - |
dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=264201&flag=dissertation | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/45575 | - |
dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2007.2, [ ix, 87 p. ] | - |
dc.description.abstract | 본 논문에서는 MEMS/NEMS 공정용 재료와 자기 조립 단분자층 사이의 나노트라이볼로지 특성을 파악하기 위하여 Atomic Force Microscope를 이용하여 실험을 수행하였다. Octadecyltrichorosilane과 perfluorooctyltrichorosilane이 SAM으로 사용 되었고 MEMS/NEMS 공정용 재료로 Si, Al, Au, Cu, Ti, PDMS, PMMA75k, PMMA540k이 사용이 되었다. AFM tip에 OTS,FOTS를 코팅하여 MEMS/NEMS 공정용 재료와 접촉시켜 마찰력과 점착력을 측정을 하여 SAM이 코팅되지 않은 경우의 마찰력과 점착력과 비교하였고, SAM이 MEMS/NEMS 공정용 재료와 접촉할때 마찰력과 점착력에 어떻게 영향을 미치는지 알아보기 위하여 마찰력과 점착력 증가 및 감소 비율을 계산하였다. 그 결과 SAM이 금속이나 PMMA75k와 접촉할 경우 마찰력과 점착력 감소효과가 크지만 PMMA540k, PDMS와 접촉할 경우 마찰력과 점착력이 오히려 커짐는 것을 알 수 있었다. 마찰력과 점착력은 OTS가 Cu, Al과 접촉할 경우 FOTS는 Al, Cu, PMMA75k와 접촉할경우 효과적으로 감소하는 것을 알 수 있었다. | kor |
dc.language | kor | - |
dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
dc.subject | 자기 조립 단분자층 | - |
dc.subject | MEMS/NEMS 공정용 재료 | - |
dc.subject | 나노트라이볼로지 | - |
dc.subject | Nanotribology | - |
dc.subject | Self-Assembled Monolayer | - |
dc.subject | MEMS/NEMS Materials | - |
dc.title | MEMS/NEMS 공정용 재료와 자기 조립 단분자층 사이의 나노트라이볼로지 특성 연구 | - |
dc.title.alternative | A study on nanotribological characteristics between MEMS/NEMS materials and self-assembled monolayer | - |
dc.type | Thesis(Master) | - |
dc.identifier.CNRN | 264201/325007 | - |
dc.description.department | 한국과학기술원 : 기계공학전공, | - |
dc.identifier.uid | 020053645 | - |
dc.contributor.localauthor | 허정철 | - |
dc.contributor.localauthor | Heo, Jung-Chul | - |
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