절연막으로 사용되는 하프니아 유전체 및 그 제조 방법HAFNIA DIELECTRIC USED AS INSULATING FILM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
절연막으로 사용되는 하프니아 유전체 및 그 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따르면, 하프니아 유전체의 제조 방법은 하프늄 지르코늄 산화물(HZO)의 두께 및 조성비를 조절하는 단계; 및 상기 하프늄 지르코늄 산화물에 대해 고압 열처리를 수행하는 단계를 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2021-04-15
- Application Number
- 10-2021-0049084
- Registration Date
- 2023-03-15
- Registration Number
- 10-2511643-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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