절연막으로 사용되는 하프니아 유전체 및 그 제조 방법HAFNIA DIELECTRIC USED AS INSULATING FILM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 전상훈 | ko |
| dc.contributor.author | 황정현 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-03-24T03:01:26Z | - |
| dc.date.available | 2023-03-24T03:01:26Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/305764 | - |
| dc.description.abstract | 절연막으로 사용되는 하프니아 유전체 및 그 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따르면, 하프니아 유전체의 제조 방법은 하프늄 지르코늄 산화물(HZO)의 두께 및 조성비를 조절하는 단계; 및 상기 하프늄 지르코늄 산화물에 대해 고압 열처리를 수행하는 단계를 포함할 수 있다. | - |
| dc.title | 절연막으로 사용되는 하프니아 유전체 및 그 제조 방법 | - |
| dc.title.alternative | HAFNIA DIELECTRIC USED AS INSULATING FILM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 전상훈 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2021-0049084 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2511643-0000 | - |
| dc.date.application | 2021-04-15 | - |
| dc.date.registration | 2023-03-15 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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