Results 1-2 of 2 (Search time: 0.003 seconds).
NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
---|---|
원자층 단위 증착법으로 증착된 TiN 증착기구에 대한 모델 연구 = A study of the deposition model about ALD (atomic layer deposition) TiN methodlink 박진성; Park, Jin-Seong; 강상원; Kang, Sang-Won, 한국과학기술원, 1999 | |
Glue layer TiW sputtering 조건이 저압 화학 증착 방법에 의해 증착된 텅스텐 박막의 성질에 미치는 영향에 관한 연구 = A study on the effect of sputtering conditions of glue layer TiW on the properties of LPCVD-W filmslink 박진성; Park, Jin-Seong; 천성순; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1993 |
Discover