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DC magnetron sputtering으로 증착한 Cr 산화물 박막의 두께 균일도 및 광학적인 특성 분석 = Analysis on thickness uniformity and optical properties of chromium oxide thin films deposited by DC magnetron sputteringlink 홍승범; Hong, Seung-Bum; 노광수; No, Kwang-Soo, 한국과학기술원, 1996 | |
CMP의 기계적 공정 변수가 반도체 표면 평탄화의 균일도에 미치는 영향 = A effect of the mechanical factors on the uniformity in the chemical-mechanical polishing(CMP) of $SiO_2$ thin filmlink 김우찬; Kim, Woo-Chan; 강상원; Kang, Sang-Won, 한국과학기술원, 1996 |
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