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D.C. 마그네트론 반응성 스퍼터링법으로 증착한 ITO박막에 있어서 고유응력, 배향성 그리고 밀도가 비저항에 미치는 영향 = Effect of density, intrinsic stress and crystallographic orientation on resistivity of ITO thin films deposited by D.C. magnetron reactive sputteringlink 이정일; Lee, Jung-Il; et al, 한국과학기술원, 2000 |
MgO 와 TiN 코팅층이 방향성 규소강판의 자기적 특성에 미치는 영향 = Effects of MgO and TiN coatings on magnetic properties of grain oriented silicon steellink 홍대훈; Hong, Dae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2000 |
Si 기판위에 Hot filmanent CVD법으로 제조된 다이아몬드 박막의 응력 해석 = Stress analysis in diamond thin films on Si wafer deposited by hot filament chemical vapor depositionlink 차승일; Cha, Seung-Il; et al, 한국과학기술원, 1998 |
코스퍼터링 $TiSi_2$ 박막의 상변태(C49→C54)와 응력해석 = Phase transformation (C49→C54) of $TiSi_2$ Co-Sputtered thin film and stress analysislink 김종환; Kim, Jong-Hwan; et al, 한국과학기술원, 1997 |
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