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스퍼터링법으로 증착한 알루미늄 박막의 잔류응력에 따른 결정 배향성이 전기적성질에 미치는 영향 = Effect of crystallographic orientation affected by residual stress on electrical property of Al thin films deposited by sputteringlink 김석필; Kim, Suk-Pil; et al, 한국과학기술원, 1997 |
폴리이미드 위에 스퍼터 증착한 Cr 및 Cu 박막의 잔류응력에 관한 연구 = A study on the residual stress of Cr & Cu thin films sputtered onto polyimidelink 김관수; Kim, Kwan-Soo; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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