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Cu 확산 방지용 TiN의 stuffing 효과에 관한 연구 = A study on the effect of TiN stuffing for Cu diffusion barrierlink 황용섭; Hwang, Yong-Sup; et al, 한국과학기술원, 1998 |
ECR-PECVD 법으로 증착한 TiN 박막의 Cu에 대한 확산방지막 특성 = The barrier property of ECR-PECVD TiN film against Cu diffusionlink 이수정; Lee, Soo-Jeong; et al, 한국과학기술원, 1997 |
Ta-N 박막의 Cu 확산방지 특성에 관한 연구 = A study on the barrier properties of Ta-n thin films against Cu diffusionlink 장유진; Chang, You-Jean; et al, 한국과학기술원, 1999 |
고이동도 비정질 산화물 반도체 박막 트랜지스터용 소스-드레인 전극 물질과 구리 확산 방지 특성에 대한 연구 = A study on source-drain electrode material for high-mobility oxide thin-film transistors and its copper diffusion barrier propertylink 이광흠; Lee, Kwang-Heum; et al, 한국과학기술원, 2016 |
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