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(A) study on novel top surface imaging by selective adsorption of silicon-compounds = 실리콘 화합물의 선택적 흡착에 의한 새로운 표면 이미징에 관한 연구link Kwoen, Young-Gil; 권영길; et al, 한국과학기술원, 1997 |
Pd게이트 MOS센서의 수소검지특성에 박막성질이 미치는 영향 = The effect of the thin film properties on the hydrogen sensing performance of Pd gate MOS sensorlink 하정균; Ha, Jeong-Kyun; et al, 한국과학기술원, 1997 |
스핀코팅법으로 금속을 흡착시킨 PECVD 비정질 실리콘 박막의 저온 결정화에 관한 연구 = A study on the low-temperatue crystallization of PECVD amorphous silicon thin films adsorbed from metal solution by spin coatinglink 박상원; Park, Sang-Won; et al, 한국과학기술원, 1998 |
원자층 단위 증착법으로 증착된 TiN 증착기구에 대한 모델 연구 = A study of the deposition model about ALD (atomic layer deposition) TiN methodlink 박진성; Park, Jin-Seong; et al, 한국과학기술원, 1999 |
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