Showing results 1 to 3 of 3
Glue layer TiW sputtering 조건이 저압 화학 증착 방법에 의해 증착된 텅스텐 박막의 성질에 미치는 영향에 관한 연구 = A study on the effect of sputtering conditions of glue layer TiW on the properties of LPCVD-W filmslink 박진성; Park, Jin-Seong; et al, 한국과학기술원, 1993 |
MgO 첨가한 $Cr_2O_3$의 전기전도도와 결함 모델 = Electrical conductivity and defect model of MgO-doped $Cr_2O_3$link 박진성; Park, Jin-Seong; et al, 한국과학기술원, 1987 |
원자층 단위 증착법으로 증착된 TiN 증착기구에 대한 모델 연구 = A study of the deposition model about ALD (atomic layer deposition) TiN methodlink 박진성; Park, Jin-Seong; et al, 한국과학기술원, 1999 |
Discover