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다결정 실리콘 박막을 이용한 EEPROM 및 플래시메모리와 그 제조방법 한철희; 이내인; 허성회; 이진우 |
비휘발성 정적 기억소자 허성회; 한철희 |
액정표시기 구동을 위한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 회로의 설계 및 기초소자 특성 분석 허성회; 한철희, 전자공학회지, v.31, no.3, pp.276 - 282, 1994-03 |
자외선램프가장착된유도결합플라즈마구리식각장치 허성회; 최강식; 한철희 |
절연체로 N2O 플라즈마 산화막을 이용한 EEPROM 및 플래시 메모리와 그 제조방법 한철희; 이내인; 허성회; 이진우 |
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