자외선램프가장착된유도결합플라즈마구리식각장치

Abstract

본 발명은 자외선램프가 장착된 유도결합 플라즈마 구리식각장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 낮은 온도에서의 구리의 식각율을 높일 수 있으며 대면적의 웨이퍼에도 효과적으로 사용할 수 있도록 유도결합 플라즈마 장치에 자외선 방사수단을 장착한 구리식각장치 및 전기 장치를 이용하여 구리를 식각하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 구리식각장치는 공정쳄버 내에 유전체창, 안테나 및 라디오파 차단모가 형성되고 할로겐가스와 구리의 반응생성물을 탈착하여 웨이퍼의 구리를 식각하는 유도결합 플라즈마 구리식각장치에 있어서, 웨이퍼에 자외선을 방사하기 위한 자외선램프 ; 전기한 유전체창을 자외선투과가 가능하도록 구성한 투사유전체창 ; 전기한 유전체창을 자외선투과가 가능하도록 구성한 투사유전체창 ; 및, 전기한 자외선램프에서 방사된 빛의 최대량을 웨이퍼에 입사시키기 위한 평행광용 자외선거울로 구성된 자외선 방사수단이 장착된 것을 특징으로 하며, 본 발명의 구리식각방법은 할로겐가스와 구리의 반응생성물을 탈착하여 웨이퍼의 구리를 식각하는 유도결합 플라즈마에 의한 구리식각시, 전기 구리식각장치의 자외선 방사수단에 의해 자외선을 입사하여 반응생성물의 탈착에 필요한 에너지를 인가하는 과정을 포함한다.