Browse "CBE-Patent(특허)" by Author 한국과학기술원,램 리서치 코퍼레이션

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iCVD 공정을 이용한 반도체 구조체의 도핑방법

조병진; 김재환; 윤형석; 김양수; 임성갑; 박관용; 박홍근

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다공성 절연물질 표면의 선택적 실링 방법

조병진; 임성갑; 윤성준; 박관용, 2018-12-19

3
다공성 절연물질 표면의 열린 기공 실링 방법

조병진; 임성갑; 윤성준; 박관용; 윤현석 알렉산더, 2018-08-29

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