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Compensation of the refractive index of air in laser interferometer for distance measurement: A review Jang, Yoon-Soo; Kim, Seung-Woo, INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING, v.18, no.12, pp.1881 - 1890, 2017-12 |
간섭원리를 이용한 이송축의 진직 운동 정확도 측정 = Measurement of moving accuracy of a precision machine axis with laser interferometrylink 임노빈; Yim, Noh-Bin; et al, 한국과학기술원, 2000 |
광/엑스선 복합간섭 고분해능 레이저 간섭계의 개발 = A high resolution laser interferometer for combined optical x-ray interferometrylink 김민석; Kim, Min-Seok; et al, 한국과학기술원, 1998 |
레이저 간섭계의 진직도 측정오차 보상 김경호; 김태호; 이후상; 김승우, 한국정밀공학회지, v.22, no.9, pp.69 - 76, 2005-09 |
반도체 소자의 선폭 및 피치 측정과 불확도 산정에 관한 연구 = Linewidth and pitch measurement of semiconductor devices and uncertainty estimationlink 고영욱; Ko, Yeoung-Uk; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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