Showing results 1 to 3 of 3
금속유도성장법과 기상유도결정화법을 이용한 저온 다결정 Si 박막 제조에 관한 연구 = Low temperature fabrication of poly-Si film by metal-induced growth and vapor-induced crystallizationlink 안경민; Ahn, Kyung-Min; et al, 한국과학기술원, 2011 |
다결정 실리콘 패드와 이중 절연막을 이용한 신구조 안티퓨즈 소자 연구 = Study on the new antifuse device with double dielectric layers on a poly-silicon padlink 백종태; Baek, Jong-Tae; et al, 한국과학기술원, 1996 |
테스트 패턴을 이용한 다결정 실리콘 박막의 열팽창 계수 측정에 관한 연구 = Measurement of thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon thin film by micro test patternslink 채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 1997 |
Discover