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DLI-MOCVD 법을 이용한 Pb계 강유전막의 저온 증착 변경문; 이원종, 대한금속·재료학회지, v.42, no.1, pp.89 - 95, 2004-01 |
DLI-MOCVD법을 이용한 Pb(Zr,Ti)O3 강유전막 증착시 IrO2 하부전극의 열화학적 안정성에 대한 연구 이원종; 변경문; 이도선, 대한금속재료학회 추계학술대회 발표, pp.145 - 145, 2003 |
DLI-MOCVD법을 이용한 Pb계 강유전막의 저온증착과 pulsed plasma의 영향에 관한 연구 이원종; 변경문; 이도선, 대한금속재료학회 2003 추계학술대회, 2003-10-23 |
DLI-MOCVD법을 이용한 Pb계 강유전체 박막의 저온 증착 = Low temperature metalorganic chemical vapor deposition of Pb-based ferroelectric thin films using direct liquid injection systemslink 변경문; Byun, Kyung-Mun; et al, 한국과학기술원, 2004 |
ECR PECVD법을 이용한 SiOF 박막의 증착 특성 및 유전율 안정화에 관한 연구 = A study on the deposition characteristics and the dielectric stability of the SiOF films deposited by ECR PECVDlink 변경문; Byun, Kyung-Mun; et al, 한국과학기술원, 1999 |
Pb계 강유전막의 용액이송형 화학증착에서의 IrO2 전극의 열화학성 안정성 이원종; 변경문, 대한금속재료학회 2002 추계학술대회, 2002-10-25 |
SiH4 첨가에 의한 저유전율 SiOF 박막의 유전특성 변화 이원종; 변경문, 한국재료학회 춘계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1998-01-01 |
WDS로 측정한 다성분계 박막 조성의 이론적인 보정 및 두께 계산: PZT 및 PLZT계 박막에의 응용 이원종; 변경문, 한국재료학회 춘계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1997-01-01 |
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