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ECR PECVD법에 의한 PbTiO3박막제조 이원종; 노광수; 정성웅; 신중식; 김재환, 한국요업학회 추계학술연구발표회, 한국요업학회, 1993 |
ECR PECVD법을 이용한 ULSI DRAM Capacitor용 (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 제조 및 특성 평가 연구 = Fabrication and characterization of ECR PECVD (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ thin films for the charge storage capacitors of ULSI DRAMlink 신중식; Shin, Joong-Shik; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 1997 |
ECR-PECVD법을 사용한 ULSI DRAM 용 PZT 박막 제조 김재환; 신중식; 김성태; 노광수; 위당문; 이원종, 한국진공학회지, v.4, no.1, pp.145 - 150, 1995-04 |
ECR-PECVD법을 사용한 VLSI DRAM용 PZT박막제조 노광수; 김재환; 신중식; 김성태; 위당문; 이원종, 한국진공학회 추계학술발표대회, 한국진공학회, 1995-01-01 |
MOCVD 법으로 증착된 $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ 초전도박막을 이용한 josephson 접합 제작과 microwave 감지소자에 관한 연구 = A study on the microwave detector and josephson junction fabrication using metal organic chemical vapor deposited $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ superconductor thin filmlink 신중식; Shin, Joong-Shik; et al, 한국과학기술원, 1993 |
YBa2Cu3O7-x 결정입계 접합을 이용한 마이크로파 감지소자 신중식; 조창현; 황두섭; 김영근; 위당문; 천성순; 신우석; et al, 한국재료학회지, v.4, no.6, pp.681 - 686, 1994-01 |
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