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반응성 스퍼터링법에 의해 제조된 PZT 박막의 특성 평가와 압전형 미소기동기 제작에 관한 연구 = A study on the properties of PZT films prepared by reactive sputtering method and the fabrication of piezoelectric microactuatorlink 남효진; Nam, Hyo-Jin; et al, 한국과학기술원, 1998 |
분리된 압전 구동기에 의한 저전압 대회전각 미소거울 김성진; 진영현; 조영호; 남효진; 부종욱, 제5회 MEMS 학술대회, pp.249 - 254, 2003-05-15 |
저전압 대회전을 위한 분리된 압전 구동기에 의한 미소거울 김성진; 진영현; 이원철; 조영호; 남효진; 부종욱, 전기학회논문지 C권, v.55, no.3(C), pp.149 - 155, 2006-03 |
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