| 71381 | ECR 플라즈마 화학 증착법에 의해 증착된 aluminum oxide 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the properties of the aluminum oxide thin film deposited by ECR plasma CVDlink 정성웅; Chung, Sung-Woong; et al, 한국과학기술원, 1992 |
| 71382 | ECR 플라즈마 화학기상증착법에 의한 0.12nm SiO2 환산두께를 갖는 Pb(Zr, Ti)O3 유전박막의제조 김재환; 김용일; 위당문; 이원종, 한국재료학회지, v.7, no.8, pp.635 - 639, 1997-04 |
| 71383 | ECR 플라즈마 화학증착법에 의해 제조된 PZT 박막의 미세구조에 관한 연구 = The study of the microstructure of the PZT thin film deposited by ECR PECVDlink 정수옥; Chung, Su-Ock; et al, 한국과학기술원, 1995 |
| 71384 | ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식 식각특성에 관한 연구 = A study on the dry etching characteristics of $RuO_2$ thin film in electron cyclotron resonance plasmalink 이응직; Lee, Eung-Jik; et al, 한국과학기술원, 1998 |
| 71385 | ECR 플라즈마를 이용한 Cu박막의 건식 식각특성에 관한 연구 이원종; 천성순, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1995-11 |
| 71386 | ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화 박막 증착 Sun-Kyu Song; Hong-Young Chang, 한국표면공학회지, v.23, no.4, pp.218 - 224, 1990 |
| 71387 | ECR 플라즈마를 이용한 플라즈마 산화에 관한 연구 = A study on the plasma oxidation using electron cyclotron resonance plasmalink 안성덕; Ahn, Seong-Deok; et al, 한국과학기술원, 1994 |
| 71388 | ECR 플라즈마의 전산모델링에 관한 연구 = Computer modeling of ECR plasmalink 김용진; Kim, Yong-Jin; 장충석; 문희태; et al, 한국과학기술원, 1992 |
| 71389 | ECR(전자 싸이클로트론 공명)에 의해서 생성된 플라즈마의 특성 조사 송선규; 장홍영; 최덕인; 장충석, 응용물리, v.3, no.2, pp.171 - 175, 1990-05 |
| 71390 | ECR-Mocvd를 이용한 SrTiO3박막의 증착 및 특성 평가 노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 이원종; 유병곤, 한국요업학회 추계발표대회, 한국요업학회, 1995-01-01 |
| 71391 | ECR-MOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가 노광수, 한국재료학회 추계학술발표 1995, 한국재료학회, 1995-01-01 |
| 71392 | ECR-MOCVD법을 이용한 PLZT박막의 제조 노광수, 한국재료학회 추계학술발표, 한국재료학회, 1995-01-01 |
| 71393 | ECR-PECVD 방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향 이원종, 한국요업학회 1993 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 71394 | ECR-PECVD PZT 박막의 FRAM 소자로의 응용에 관한 연구 = The study on the applicaions to FRAM with PZT thin film fabricated by ECR-PECVDlink 정수옥; Chung, Su-Ock; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 71395 | ECR-PECVD Ta2O5 증착시 형성되는 SiO2에 관한 연구 이원종; 안성덕; 김일; 김종석; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술발표 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 71396 | ECR-PECVD 법으로 제조한 PZT 박막의 물성 연구 = Characteriszation of PZT thin films prepared by ECR-PECVDlink 김재환; Kim, Jae-Whan; 위당문; 이원종; et al, 한국과학기술원, 1996 |
| 71397 | ECR-PECVD 법으로 증착된 $Al_2O_3$ 박막의 증착 특성에 관한 연구 = Deposition characteristics of the ECR-PECVD $Al_2O_3$ thin filmslink 이재균; Lee, Jae-Kuin; et al, 한국과학기술원, 1994 |
| 71398 | ECR-PECVD 법으로 증착한 TiN 박막의 Cu에 대한 확산방지막 특성 = The barrier property of ECR-PECVD TiN film against Cu diffusionlink 이수정; Lee, Soo-Jeong; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 71399 | ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향 이원종; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술연구발표회1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 71400 | ECR-PECVD법으로 증착된 Al2O3절연 박막의 특성에 관한 연구 이원종; 이재균; 전병혁, 한국재료학회 춘계학술연구발표회 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
