금속 나노 슬롯 및 이의 제조 방법 METAL NANO SLOTS AND METHODS OF MANUFACTURING THE SAME

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금속 나노 슬롯은 제1 유전막 패턴, 제2 유전막 패턴, 제3 유전막 패턴 및 금속막을 포함한다. 제3 유전막 패턴은 제1 유전막 패턴 상부에서 제1 유전막 패턴과 대향한다. 제2 유전막 패턴은 제1 유전막 패턴 및 제3 유전막 패턴 사이에 배치되며, 제1 및 제3 유전막 패턴들 보다 작은 수평 너비를 갖는다. 금속막은 제1 유전막 패턴 및 제3 유전막 패턴의 표면 상에 부분적으로 형성된다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2015-12-01
Application Date
2014-11-19
Application Number
10-2014-0161492
Registration Date
2015-12-01
Registration Number
10-1575203-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232106
Appears in Collection
NT-Patent(특허)
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