금속 나노 슬롯 및 이의 제조 방법 METAL NANO SLOTS AND METHODS OF MANUFACTURING THE SAME

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dc.contributor.author신중훈ko
dc.contributor.author이재학ko
dc.date.accessioned2017-12-20T09:09:44Z-
dc.date.available2017-12-20T09:09:44Z-
dc.date.issued2015-12-01-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/232106-
dc.description.abstract금속 나노 슬롯은 제1 유전막 패턴, 제2 유전막 패턴, 제3 유전막 패턴 및 금속막을 포함한다. 제3 유전막 패턴은 제1 유전막 패턴 상부에서 제1 유전막 패턴과 대향한다. 제2 유전막 패턴은 제1 유전막 패턴 및 제3 유전막 패턴 사이에 배치되며, 제1 및 제3 유전막 패턴들 보다 작은 수평 너비를 갖는다. 금속막은 제1 유전막 패턴 및 제3 유전막 패턴의 표면 상에 부분적으로 형성된다.-
dc.title금속 나노 슬롯 및 이의 제조 방법-
dc.title.alternativeMETAL NANO SLOTS AND METHODS OF MANUFACTURING THE SAME-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor신중훈-
dc.contributor.nonIdAuthor이재학-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2014-0161492-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-1575203-0000-
dc.date.application2014-11-19-
dc.date.registration2015-12-01-
dc.publisher.countryKO-
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NT-Patent(특허)
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