DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 한상연 | ko |
dc.contributor.author | 신형철 | ko |
dc.contributor.author | 이귀로 | ko |
dc.date.accessioned | 2013-03-02T16:44:50Z | - |
dc.date.available | 2013-03-02T16:44:50Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 1999-10 | - |
dc.identifier.citation | 전자공학회지 D, v.36, no.10, pp.23 - 30 | - |
dc.identifier.issn | 1975-2377 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/74512 | - |
dc.language | Korean | - |
dc.publisher | 대한전자공학회 | - |
dc.title | 전자선 석판 기술에서 디지타이징과 노광후 굽기 최적화를 통한 40nm급 패턴제작에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | Study on 40 nm Electron Beam Patterning by Optimization of Digitizing Method and Post Exposure Bake | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.citation.volume | 36 | - |
dc.citation.issue | 10 | - |
dc.citation.beginningpage | 23 | - |
dc.citation.endingpage | 30 | - |
dc.citation.publicationname | 전자공학회지 D | - |
dc.contributor.localauthor | 신형철 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 한상연 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이귀로 | - |
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