급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화Comparison of the Characteristics of Polycrystalline Silicon Thin Films Between Rapid Thermal Annealing and laser Annealing Methods
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이창우 | ko |
| dc.contributor.author | 고민경 | ko |
| dc.contributor.author | 우상록 | ko |
| dc.contributor.author | 고석중 | ko |
| dc.contributor.author | 이정용 | ko |
| dc.contributor.author | 최광렬 | ko |
| dc.contributor.author | 최영석 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-27T17:13:50Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-27T17:13:50Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1997 | - |
| dc.identifier.citation | 한국재료학회지, v.7, no.10, pp.908 - 913 | - |
| dc.identifier.issn | 1225-0562 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/69775 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국재료학회 | - |
| dc.title | 급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화 | - |
| dc.title.alternative | Comparison of the Characteristics of Polycrystalline Silicon Thin Films Between Rapid Thermal Annealing and laser Annealing Methods | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 7 | - |
| dc.citation.issue | 10 | - |
| dc.citation.beginningpage | 908 | - |
| dc.citation.endingpage | 913 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국재료학회지 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이정용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이창우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 고민경 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 우상록 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 고석중 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최광렬 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최영석 | - |
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