Browse "BiS-Conference Papers(학술회의논문)" by Author 부종욱

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분리된 압전 구동기에 의한 저전압 대회전각 미소거울

김성진; 진영현; 조영호; 남효진; 부종욱, 제5회 MEMS 학술대회, pp.249 - 254, 2003-05-15

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사각고리형 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉 패키징 및 특성시험

서영호; 김성아; 조영호; 김근호; 부종욱, 대한기계학회 생산 및 설계공학부문 추계학술대회, pp.24 - 28, 대한기계학회, 2002-10-11

3
절연된 이동접촉 보와 곡면전극 구동기를 이용한 집적화된 SOI 광스위치

진영현; 서경선; 조영호; 이상신; 송기창; 부종욱, 제2회 MEMS 학술대회, pp.237 - 245, 2000-04-14

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