Browse "PH-Conference Papers(학술회의논문)" by Author 윤석민
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| 고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구 김정형; 서상훈; 윤석민; 장홍영, 한국진공학회 제9회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
| 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 윤석민; 서상훈; 김정형; 장홍영, 한국진공학회 제10회 학술발표회, 한국진공학회, 1996-03 |
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Type
- 2 Article
- 4,334 Conference
Date issued
- 306 2020 - 2024
- 1,344 2010 - 2019
- 1,118 2000 - 2009
- 1,179 1990 - 1999
- 327 1980 - 1989