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| 유도결합 플라즈마에서 E-H 모드 전이 및 전자에너지 분포함수의 주파수 특성 연구 서상훈; 홍정인; 배근희; 장홍영, 한국진공학회 제15회 학술발표회, 한국진공학회, 1998 |
| 유도결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마 제어에 관한 연구 홍정인; 서상훈; 배근희; 장홍영; 윤남식, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 유도결합 플라즈마에서의 전자에너지 분포 특성 및 Ramsauer 효과에 대한 연구 서상훈; 김성식; 홍정인; 배근희; 장충석; 장홍영, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 차세대 식각 공정을 위한 플라즈마 변수 제어에 관한 연구 장홍영, 제10회 한국반도체학술대회, 2003 |
| 축전 차폐막이 없는 유도결합 아르곤 플라즈마에서 전자에너지 분포 및 플라즈마 전위에 대한 연구 서상훈; 홍정인; 장홍영, 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 , 한국진공학회, 1999 |
| 헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구 김정형; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
| 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 윤석민; 서상훈; 김정형; 장홍영, 한국진공학회 제10회 학술발표회, 한국진공학회, 1996-03 |
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Type
- 2 Article
- 4,334 Conference
Date issued
- 306 2020 - 2024
- 1,344 2010 - 2019
- 1,118 2000 - 2009
- 1,179 1990 - 1999
- 327 1980 - 1989