Browse "PH-Conference Papers(학술회의논문)" by Author 배근희

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유도결합 플라즈마에서 E-H 모드 전이 및 전자에너지 분포함수의 주파수 특성 연구

서상훈; 홍정인; 배근희; 장홍영, 한국진공학회 제15회 학술발표회, 한국진공학회, 1998

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유도결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마 제어에 관한 연구

홍정인; 서상훈; 배근희; 장홍영; 윤남식, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999

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유도결합 플라즈마에서의 전자에너지 분포 특성 및 Ramsauer 효과에 대한 연구

서상훈; 김성식; 홍정인; 배근희; 장충석; 장홍영, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999

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